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    CMP抛光系统

    规格型号:

    IB400

    发货期限:

    4个月天

    库???????存:

    1

    产???????地:

    德国

    数???????量:

    减少 增加

    价???????格:

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    交易保障 担保交易 网银支付

    客服电话:4001027270

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    品牌:

    型号:IB400

    所属系列:半导体加工设备-减薄抛光设备-CMP磨抛机

    详细描述:

    1.加工样品尺寸4英寸及以下尺寸样品

    2.可磨抛样品数量设备具有1个工位,最大可以加工4英寸样品.
    3.可加工样品种类Si,SiC, GaAs, InP,CZT, MCT等多种半导体材料
    4.整机防腐蚀,适用CMP应用设备主机及所有零部件耐腐蚀,适用CMP应用
    5.设备工作时间,磨抛盘转速,样品固定系统驱动转速及摆幅等参数采用精确数控,所有参数具有数据存储及记忆功能。所有控制系统部件上置于磨抛工作区域,以避免磨抛工作过程中磨抛废料渗漏腐蚀操控系统。

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