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    二手DISCO设备

    库       存:

    100

    产       地:

    全国

    数       量:

    减少 增加

    价       格:

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    交易保障 担保交易 网银支付

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    品牌:

    型号:

    所属系列:半导体二手设备-二手芯片制造后段设备

      机械规格

    项目

    叙述

    单位

    规格

    工作范围

     

    mm

    160×160

    主轴

    轴承

     

    空气静压轴承

    最高容许转速

    rpm

    60000

    最大输出马力

    kw

    1.2

    X轴

    驱动装置

     

    AC 伺服马达

    最大工作行程

    mm

    160

    最大移动行程

    mm

    250

    切割速度设定

    mm/s

    0.1~300

    Y轴

    驱动装置

     

    微步进马达

    最大工作行程

    mm

    160

    最小分割设定

    mm

    0.0002

    单一分割精度

    mm

    0.003/5

    全行程精度

    mm

    0.005/150

    Z轴

    驱动装置

     

    微步进马达

    最大工作行程

    mm

    30

    最小分割设定

    mm

    0.0002

    重复精度

    mm

    0.001

    θ轴

    驱动装置

     

    DD 伺服马达

    最大旋转角度

    degree

    约360度

    视觉系统

    显示器

     

    彩色15”LCD

    作业系统

     

    XPe

    语言

     

    中文 或 英文

    安装环境

    机械外型 (宽×深×高)

    mm

    600×800×1500

    机械重量

    kg

    600

    电力需求

     

    AC220V,单相,50/60Hz

     

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