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    Activator150 SiC和GaN退火及石墨烯生长

    应用于半导体行业:

    半导体加工设备-炉类设备-退火炉

    产品品牌

    Centrotherm

    库???????存:

    1000

    产???????地:

    德国

    数???????量:

    减少 增加

    价???????格:

    1000.00
    交易保障 担保交易 网银支付

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    品牌:Centrotherm

    型号:

    所属系列:半导体加工设备-炉类设备-退火炉

    ?

    Activator 150

    SiC和GaN退火及石墨烯生长

    ?

    centrotherm Activator 150 高温炉生产线专为硅-碳化合物(SiC)或镓-氮化合物(GaN) 设备的后植入烧结而设计开发。Activator 150 可用于多种类型炉体, 如研发炉和批量生产炉, 且处理灵活性高。centrotherm 的无金属加热装置的独特设计允许处理温度高达 1850 °C 同时缩短了工艺循环时间。由于占据空间小、购置成本低,所以 Activator 150 可实现生产具有成本效益。

    ?

    高活化率

    表面粗糙程度最小

    温度最高达 1850°C

    批量规模高达 50硅片(150mm)

    加热率最高达 150 K/min

    通过SiH4可实现硅“过压

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    提问:
    ?

    加温速度是多快啊?降温装置是什么?有现货吗?

    hjool??2017-07-24

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